海关总署，信息产业部： 
　　经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件的税收政策通知如下： 
　　一、自２００１年１月１日起，对在中国境内设立的投资额超过８０亿元或集成电路线宽小于０．２５微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件，免征关税和进口环节增值税。 
　　二、符合免税条件的集成电路生产企业名单由国家计委审核确定并通知海关总署，同时抄送财政部。海关对上述企业进口的净化室专用建筑材料、配套系统和集成电路生产设备零、配件按照本通知附件所列商品目录办理免税手续，并做好后续监管工作。 
　　三、附件２所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时，如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。 
　　四、附件所列商品目录将适时进行调整，由信息产业部会同国家计委、财政部、海关总署、国家税务总局等有关部门提出意见，报国务院批准后实施。 
　　五、海关总署对享受该政策的年度实际进口数量应及时抄送财政部。 
　　特此通知。 
　　附件： 
　　１．部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录 
　　２．部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录 
 
 
２００２年９月２６日 
 
　　附件１： 
 
部分集成电路生产企业免税进口净化室专用建筑材料、配套系统商品目录 
 
　　序号 商品名称 英文名称 进口原因（技术规格说明）及用途 
　　１ 小型无尘室 无 国内无生产 
　　２ 净化厂房（室）钢结构用配套其他无螺纹紧固件（剪力钉） Ｓｔｕｄｓ 国内无生产 
　　３ 防火漆 Ｆｉｒｅ Ｐｒｏｏｆｉｎｇ Ｐａｉｎｔ 需ＦＭ（ｆａｃｔｏｒｙ ｍｕｔｕａｌ）认证国内没有生产 
　　４ 环氧树脂（需通过ＦＭ认证） Ｅｐｏｘｙ Ｚｉｎｃ Ｐｈｏｓｈａｔｅ Ｐｒｉｍｅｒ，ＥＰ６６ Ｐａｉｎｔ： 需ＦＭ认证国内没有生产 
　　５ 表面色涂料（不发尘）／上色漆 无 国内无生产 
　　６ 净化室建材用调制胶及粘合剂（导电胶，密封胶，胶水，洁净强力胶，固定胶，洁净细胶） Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｌｏｏｒ Ｔｉｌｅ 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料 
　　７ 涂布层尘用硬化剂 Ｈａｒｄｅｎｅｒ ｆｏｒ Ｅｐｏｘｙ 国内无生产 
　　８ 有机玻璃板 无 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产，规格为０．８ｍ～１．２ｍ×０．８ｍ～１．２ｍ 
　　９ 净化厂房（室）玻璃门及配件 无 国内无生产 
　　１０ 净化室气密门窗及框架（钢制品） 无 国内无生产 
　　１１ 避震弹簧／避抓弹簧 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２ 铝合金制门 无 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品（规格为０．９ｍ～２．４ｍ×２．２ｍ等） 
　　１３ 净化室高架地板（铝合金） Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ａｌｌｏｙ Ｒａｉｓｅｄ Ｆｌｏｏｒ／Ｒａｉｓｅｄ Ｆｌｏｏｒ 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料 
　　１４ 防静电地板（铝合金） Ａｌｕｍｉｎｕｍ ＥＳＤ Ｆｌｏｏｒ 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料 
　　１５ 铝合金制结构体／铝合金制吊顶结构体 无 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品（规格为２．５ｍ～６ｍ×１．０ｍ～１．２ｍ等） 
　　１６ 铝合金吊顶龙骨及封盖（净化室悬吊系统）及相关配件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７ 铝合合制高架地板（成品） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１８ 铝合金龙骨 无 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品６０ｃｍ×６０ｃｍ（误差０．１ｃｍ） 
　　１９ 铝制隔板／铝制面板／铝合金制面板（成品） 无 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无符合技术标准、型号产品６０ｃｍ×１２０ｃｍ，９０ｃｍ×１２０ｃｍ，９０ｃｍ×７５ｃｍ，７５ｃｍ×１２０ｃｍ等 
　　２０ 净化室隔间板及门 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２１ 铝制隔墙及支撑件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２２ 铝制连接铰链及螺丝 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２３ 铝制蜂窝板及附件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２４ 钢制防水板 无 国内无生产 
　　２５ 净化室隔间板（钢制品）及其辅件 Ｃｌｅａｎ Ｒｏｏｍ Ｐａｒｔｉｔｉｏｎ Ｄｏｏｒ 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技术认定产品 
　　２６ 净化室隔间板（铝合金）及其辅件（厚＞０．３５ｍｍ） Ｃｌｅａｎ Ｒｏｏｍ Ｐａｒｔｉｔｉｏｎ Ｄｏｏｒ 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技术认定产品 
　　２７ 净化室隔离板（铝合金）结合组件 Ｈａｒｄｗａｒｅ（Ｄｏｏｒｓ） 表面具导电性自身不生尘之隔间板及门，国内无经技术认定产品 
　　２８ 净化室铝合金及钢材专用备件及相关零配件 无 国内无生产 
　　２９ 静电消除器 Ｉｏｎｉｚｅｒ 清除静电 
　　３０ 有机玻璃制品（成品） 无 防静电、防灰尘微粒、无尘室专用，国内无生产 
　　３１ 防水卷材 Ｗａｔｅｒ Ｐｒｏｏｆｉｎｇ Ｍｅｎ ｂｒａｎｅ 国内产品目前无验证资料 
　　３２ 钢制品吊顶龙骨封盖及相关零配件 无 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料 
　　３３ 预滚涂铝板 Ｐｒｅｐａｉｎｔｅｄ Ａｌｕｍｉｎｕｎ Ｐａｎｅｌｓ 为避免大面积立面产生色差 
　　３４ 净化室隔离板结合组件（金属） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　３５ 净化室内自动闭门器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　３６ 净化室高架地板（钢制品） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　３７ 橡胶导电池板 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　３８ 抗静电聚氯乙烯（ＰＶＣ）／玻璃塑料视窗板 Ａｎｔｉｓｔａｔｉｃ ＰＶＣ ｐｌａｔｅ，Ｄｏｏｒ／Ｗａｌｌ Ｇｌａｚｉｎｇ 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料 
　　３９ 导电铜箔胶带 Ｃｏｐｐｅｒ Ｔａｐｅ 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料 
　　４０ 不锈钢安全网 ＳＵＳ Ｓａｆｅｔｙ Ｎｅｔ 特殊无尘，国内产品目前无验证资料 
　　４１ 高架地板下方气密隔板 Ｕｎｄｅｒ Ｒａｉｓｅｄ Ｆｌｏｏｒ Ｄｉｖｉｄｅｒ 配套产品，特殊构造及不发尘、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料 
　　４２ 聚氯乙烯（ＰＶＣ）导电地砖 Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｌｏｏｒ Ｔｉｌｅ 特殊无尘及防静电材质，国内产品目前无验证资料 
　　４３ 净化室（无尘室）专用特制防震机座（特殊混凝土不锈钢结构） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　４４ 净化室气密门窗及框架（铝制品） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　４５ 放电灯管 Ｔｅａｒ－Ｄｒｏｐ Ｌｉｇｈｔｉｎｇ Ｆｉｘｔｕｒｅ 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料 
　　４６ 封闭式聚光管好 Ｌｉｇｈｔｉｎｇ 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料 
　　４７ 其他类型灯 Ｅｘｉｔ／Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ Ｌｉｇｈｔｉｎｇ Ｆｉｘｔｕｒｅ 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料 
　　４８ 紫（红）外线灯管（泡） Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍｏｕｎｔｅｄ Ｌｉｇｈｔｉｎｇ 配套产品，特殊构造、不吸尘材质，国内产品目前无验证资料 
　　４９ 抗静电强化玻璃 Ａｎｔｉ－Ｓｔａｔｉｃ Ｔｅｍｐｅｒｅｄ Ｇｌａｓｓ 国内无生产 
　　５０ 特氟龙管材连接硅胶 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５１ 无尘防爆型灯具及配件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５２ 离子发生器 Ｉｏｎｉｚｅｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５３ 净化室专用特制方针机座（特殊混凝土不锈钢结构） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５４ 管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡，支撑管垫 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５５ 酸式洗涤器用塑料制零部件／有机存储槽 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５６ 醋酸纤维制过滤膜（无孔，利用分子间隙过滤） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５７ 塑料制导电地板贴面 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５８ 塑料制电缆护套 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　５９ 塑料制风口及其支撑件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　６０ 塑料制龙骨封条 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　６１ 特氟龙塑料制风口 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　６２ 冷轧不锈钢无缝管（电子抛光不锈钢） 无 无缝，高光洁度，国内无符合技术标准、型号产品３１６ＬＢＡ＆ＥＰ不锈钢管，平均表面粗糙度Ｒａ：ＢＡ＜１０ｕ＇＇，ＥＰ＜３ｕ＇＇；最大表面粗糙度Ｒｍａｘ：ＢＡ＜３ｕｍ，ＥＰ＜０．７ｕｍ。使用管径１／８＇＇，１／４＇＇，３／８＇＇，１／２＇＇，５／８＇＇３／４＇＇，１５Ａ，２５Ａ，４０Ａ，５０Ａ，６５Ａ，８０Ａ，１００Ａ，１２５Ａ，２００Ａ，２５０Ａ，３００Ａ等 
　　６３ 冷轧不锈钢无缝管（铁或非合金钢） 无 无逢，耐压力达到１０公斤以上，国内无符合技术标准、型号产品 
　　６４ 冷轧不锈钢无缝管（其他合金钢） 无 无缝，耐压力达到１０公斤以上，国内无符合技术标准、型号产品 
　　６５ 非冷轧不锈钢无缝管 无 无缝，国内无符合技术标准、型号产品 
　　６６ 不锈钢焊缝管（成品） 无 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品 
　　６７ 不锈钢直管、弯管、连接件 无 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品 
　　６８ 钢制风口及其支撑件和附件 无 随系统整体引进，国内无符合技术标准、型号产品 
　　６９ 铜管 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　７０ 风机盘管 无 冷却用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　７１ 空调箱系统及其零配件，包括空调系统盘管、挡水板、防潮器、连接件 无 国内元符合技术标准、型号产品 
　　７２ 冷却盘管（成品） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　７３ 过滤器／高效过滤器／Ｙ型过滤器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　７４ 过滤、净化器分配装置及其附件（过滤器用冷盘管） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　７５ 酸式洗涤器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　７６ 传感器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　７７ 橡胶软管／防震软管 Ｅｘｐａｎｓｉｏｎ Ｊｏｉｎｔ 管路伸缩保护用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　７８ 钢制软管／防震软管 Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｉｐｅ Ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　７９ 工艺排气处理装置（一般，有机及酸碱废气洗涤） Ｇｅｎｅｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｅｘｈａｕｓ Ｆａｎ 国内产品目前无验证资料，国内无符合技术标准、型号产品 
　　８０ 溶剂废气处理装置 ＶＯＣ Ａｂａｔｅｍｅｎｔ Ｄｅｖｉｃｅ（Ｃｏｎｔａｉｎ Ｆａｎ ａｎｄ ＶＦＤ） 工艺排气处理，国内无符合技术标准、型号产品 
　　８１ 温度传感器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　８２ 水及其他蒸汽动力装置的冷凝器 Ｄｅａｅｒａｔｏｒ 厂区供热系统用以除去水中氧气，国内无符合技术标准、型号产品 
　　８３ 其他辅助设备备用零件 Ｓｔｅａｍ ｄｅ－ｔｅｍｐ．Ｄｅｖｉｃｅ 厂区供热系统减温用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　８４ 油泵 Ｏｉｌ Ｐｕｍｐ 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品 
　　８５ 电动风门，气动控制风门，防火风门，排气风门 Ｍｏｔｏｒｉｚｅｄ Ｄａｍｐｅｒ，Ｐｅｎｕｍａｔｉｃ Ｄａｍｐｅｒ，Ｆｉｒｅ Ｄａｍｐｅｒ，Ａｉｒ Ｄａｍｐｅｒ 空调管道风系统控制用，防火风门（ＦＭ），国内无符合技术标准、型号产品 
　　８６ 变风量控制箱及配件 ＶＡＶ Ｂｏｘ Ｓｙｓｔｅｍ 办公环境空调用（控制风量０～１００％±３％），国内无符合技术标准、型号产品 
　　８７ 不锈钢排气风管（内衬特氟龙）及配件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　８８ 不锈钢排气风管（内衬特氟龙）及配件（非圆型截面） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　８９ 工艺排气处理装置（一般，有机及酸碱废气洗涤） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　９０ 真空泵 Ｓｔｅａｍ Ｓｙｓｔｅｍ Ｐｕｍｐｓ 蒸汽系统水力输送用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９１ 工艺用真空设备及附件 Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｖａｃｕｕｍ Ｐｕｍｐ＆Ａｕｘｉｌｌａｒｙ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓ 生产工艺设备用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９２ 风机 Ｆａｎ 工艺送排气处理（３５０００～１３００００ＣＭＨ，静压达８＇ＷＧ） 
　　９３ 风淋室 Ａｉｒ Ｓｈｏｗｅｒ 生产环境人员洁净控制用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９４ 冷却塔 Ｃｏｏｌｉｎｇ Ｔｏｗｅｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　９５ 冷水机组（冰水主机） Ｃｈｉｌｌｅｒ 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９６ 工艺冷却水系统 Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｃｏｏｌｉｎｇ Ｗａｔｅ Ｓｙｓｔｅｍ 提供工艺冷却水给无尘设备用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９７ 防火填塞 Ｆｉｒｅ Ｂａｒｒｉｅｒ Ｓｅａｌｉｎｇ 冰水系统用防堵性材料，需符合ＵＬ／ＦＭ认证，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９８ 冷媒（制冷剂） Ｒｅｆｒｉｇｅｒａｎｔ 冰水制造，国内无符合技术标准、型号产品 
　　９９ 热交换装置 Ｈｅａｔ Ｅｘｃｈａｎｇｅｒ 热能转换，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１００ 保温材料（橡胶，泡棉，玻璃纤维，铝制层） Ｉｎｓｕｌａｔｉｏｎ 管路保温用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０１ 管阀及配件 Ｖａｌｖｅ 管道流体控制用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０２ 风机过滤器 Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０３ 干盘管（冷却盘管） Ｄｒｙ Ｃｏｉｌ 生产环境空调用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０４ 高效率过滤网（筛）／超高效率过滤网（筛）／油过滤网（筛）／充填过滤筛网 ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡ Ｆｉｌｔｅｒ ０．１２ｕｍ空气过滤器，过滤有效率达到９９．９９９９％，生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０５ 管道过滤单元（过滤网） Ｆｉｌｔｅｒ 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０６ 水洗台 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０７ 卸货平台 Ｄｏｃｋｌｅｖｅｌｅｒｓ 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０８ 滑开门 Ｓｅｃｔｉｏｎａｌ Ｄｏｏｒｓ 承载设备，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１０９ 工艺排气处理装置（一般，有机及酸碱废气洗涤） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１０ 加湿器及其配件（配管、喷嘴） Ｓｔｅａｍ Ｔｙｐｅ Ｈｕｍｉｄｉｆｉｅｒ 空调湿度保持，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１１ 消音箱 Ｓｏｕｎｄ Ａｔｔｅｎｕａｔｉｏｎ Ｃｈａｍｂｅｒ 生产环境噪音控制，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１２ 避震器（管吊架，避震弹簧，电木／橡塑发泡，支撑管垫） Ｓｈｏｃｋ Ａｂｓｏｒｂｅｒ 冰水系统用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１３ 自动释气阀 Ａｉｒ Ｖｅｎｔ 管路排气用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１４ 风机过滤器监控装置 Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔｓ Ｃｏｎｔｒｏｌ ａｎｄ Ｍｏｎｉｔｏｒ 生产环境洁净度控制，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１５ 控制器 Ａｃｔｕａｔｏｒ 控制温湿度稳定（控制精度Ｔｅｍｐ２２±０．５℃，ＲＨ４３±３％） 
　　１１６ 变风量控制箱及配件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１７ 疏水器 Ｓｔｅａｍ Ｔｒａｐ 管道系统用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１１８ 洁净室专用接地电线及配件 Ｃｌｅａｎ Ｒｏｏｍ Ｇｒｏｕｎｄｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ 特殊设计接地材料，国内无经技术认定产品 
　　１１９ 空气洗涤器 Ａｉｒ Ｗａｓｈｅｒ 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２０ 不锈钢风门，不锈钢内衬特氟龙风门 Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ Ｓｔｅｅｌ Ｄａｍｐｅｒ，Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ 工艺排气管道用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２１ 沸石转轮 Ｒｏｔａｔｏｒ 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２２ 燃烧炉 Ｆｌａｍｍａｂｌｅ Ｏｖｅｎ 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２３ 燃烧器 Ｆｌａｍｍａｂｌｅ Ｄｅｖｉｃｅ 环境保护防治设施，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２４ 无尘室用高速洗手干燥机 无 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２５ 冷冻机组／冷冻蒸发器 无 国内无生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２６ 真空系统（不含微机和外设） Ｈｏｕｓｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｙｓｔｅｍ 无尘室洁净用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２７ 接液盘 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２８ 有载调压开关（高压） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１２９ 电缆终端 无 围内无符合技术标准、型号产品 
　　１３０ 发电机用零件 无 发电装置，达到电压时间为１５秒，国内无法达到多台发电机的群控并联方式，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３１ 空气滤清器 无 空气滤清装置，国内无符合技术标准、型导产品 
　　１３２ 离合器 无 机械耦合装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３３ 逆变器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３４ 充电器 无 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３５ 电瓶组 无 操作电源，用于电气真空开关柜稳定的控制电源，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３６ 电容器 无 用于改善电气设备功率因素，与配电柜一起进口，电压范围３００ＫＷ～１５００ＫＷ，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３７ 电路的开关，保护或连接用的电气装置／断路器 无 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３８ 避雷器 无 由源断开设备，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１３９ 保护电驿（保护用继电器） 无 线路保护装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４０ 并联开关盘（电气控制及电力分配的盘，台，柜）／马达控制盘／配电盘 无 发电开关装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４１ 马达变频控制器 Ｐｏｗｅｒ Ｐａｎｅｌ ＭＣＣ 功率因素改善用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４２ 用于电器控制或电力分配的盘、板、台、柜及其他基座的零件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４３ 六氟化硫气体及充填装置 无 绝缘用气体，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４４ 感应耦合器 无 储能装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４５ 同步机 无 整流装置，国内无符合技术标 准、型号产品 
　　１４６ 电力系统用由缆及辅料 无 由源用电缆 及零料，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４７ 多功能电表 无 功能指示装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４８ 滤波器 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１４９ 自动功率因素调整器 无 功率因素改善装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５０ 自我保护装置（过磁保护电驿，差动保护，接地故障保护瞬动，接地故障延时过流，过电压及低电压保护电驿） Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５１ 二氧化碳喷淋系统（不含微机和外设） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５２ 有机储存槽 无 国内无符合林术标准、型号产品 
　　１５３ 塑料制、聚乙烯（ＰＶＣ）、偏聚二氟乙烯，特氟龙制、聚偏二氟乙烯、透明聚氯乙烯、聚丙烯、连接件管件及其附件；净化室防电击软管 无 高纯度电子级／耐高温，耐强酸碱 
　　１５４ 设备安装用气体、化学品管子（不锈钢３０４、３１６材料），连接件及配件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５５ 阀门，控制阀（及其配件） Ｖａｌｖｅ 管道冰水控制用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５６ 气体探测头／气体侦测器侦测头 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５７ 石英管推车 无 用于搬运工艺用石英管，附防尘、防震装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５８ 运酸台车 无 用于搬运工艺用酸性材料，附防尘装置，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１５９ 桌上型氟离子测量仪 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６０ 离子交换树脂（颗粒状）／交换树脂 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６１ 塑料制／特氟龙制储藏罐 无 储藏高纯度化学品（３１６低碳不锈钢）国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６２ 石英管柜 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６３ 盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器（容积＞３００升） 无 采用３１６低碳不锈钢，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６４ 盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器（容积５０升～３００升） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６５ 盛装物料用的钢铁槽、桶及类似容器（容积＜５０升） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６６ 装压缩或液化气的钢铁容器 无 国内无 符合技术标准、型号产品 
　　１６７ 混合机件及其相关配件 Ａｇｉｔａｔｏｒ／Ｍｉｘｅｒ／Ｆａｎ／Ｂｌｏｗｅｒ ａｎｄ Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 超细晶片研磨液加水或双氧水后，稀释、搅拌混合装置。国内无符合技术标准、型号产品 
　　１６８ 紫外线灯单元模块及其相关配件 ＵＶ Ｕｎｉｔ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内符合技术标准、型号产品 
　　１６９ 监测仪器及其相关配件 Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 
　　１７０ 逆渗透单元组及其相关配件 Ｒｅｖｅｒｓｅ Ｏｓｍｏｓｉｓ（ＲＯ）Ｕｎｉｔ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７１ 水系统动力控制单元及其相关配件 Ｐｏｗｅｒ＆Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７２ 真空脱气模块及其相关配件 Ｍｅｍｂｒａｎｅ Ｄｅｇａｓｉｆｉｅｄ Ｕｎｉｔ＆Ａｃｃｅｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７３ 超过滤模块及其相关配件 Ｕｌｔｒａｆｉｔｒａｔｉｏｎ Ｕｎｉｔ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７４ 多层过滤塔及其相关配件 Ｍｕｌｔｉ Ｍｅｄｉａ Ｆｉｔｔｅｒ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７５ 活性碳过滤塔及其相关配件 Ａｃｔｉｖｅ Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｌｔｅｒ／Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７６ 文丘利供液装置 Ｅｊｅｃｔｏｒ 国内无符合材术标准、型号产品 
　　１７７ 真空脱气模块 Ｍｅｍｂｒａｎｅ Ｄｅｇａｓｉｆｙ Ｍｏｄｕｌｅ 国内无生产／整体系统引进 
　　１７８ 减速机（不锈钢３０４材质） Ｒｅｄｕｃｅｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１７９ 滤心 Ｆｉｌｔｅｒ 整体系统引进／国内产品目前无验证资料 
　　１８０ 石革砂 Ｓｉｌｌｉｃｏｎ Ｓａｎｄ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１８１ 活性碳 Ａｃｔｉｖｅ Ｃａｒｂｏｎ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１８２ 桶，槽容器（玻璃钢制品）（聚二氯乙烯衬里） ＦＲＰ Ｍａｔｅｒｉａｌ 盛装高纯度化学品，防污染，国内无生产，整体系统引进 
　　１８３ 密封件（材质丁氰橡胶／聚四氯乙烯／聚二氟乙烯／不锈钢３１６／不锈钢３０４） Ｐａｃｋｉｎｇ （ＥＰＤＭ／ＰＴＦＥ／ＰＶＤＦ．ＳＵＳ３１６／Ｖｉｔｏｎ／ＳＵＳ３０４） 整体系统引进，国内产品目前无验证资料 
　　１８４ 过滤填充料 Ｇｒａｖｅｌ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１８５ 目视玻璃窗 Ｓｉｇｈｔ Ｇｌａｓｓ 采用可绝缘、隔热且具有良好抗静电特殊材质，用于纯水系统的离子交换树脂塔自视窗，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１８６ 桶，槽容器（不锈钢制品）（聚二氟乙烯衬里） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１８７ 空气泵或真空泵，空气及其他气体压缩机，风机及风扇，防爆风车 Ｂｌｏｗｒ 整体系统引进，国内产品目前无验证资料 
　　１８８ 真空泵相关配件 Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准型号产品 
　　１８９ 过滤器（材质不锈钢３０４／不锈钢３１６） Ｆｉｌｔｅｒ Ｈｏｕｓｉｎｇ（ＳＵＳ３０４／ＳＵＳ３１６） 整体系统引进，国内产品目前无验证资料 
　　１９０ 活性碳过滤塔（碳钢／不锈钢３１６／不锈钢３０４，内衬橡胶） ＡＣ Ｔｏｗｅｒ（ＣＳ／ＣＳ Ｒｕｂｂｅｒ Ｌｉｎｉｎｇ／ＳＵＳ３１６／ＳＵＳ３０４） 整体系统引进，国内产品目前无验证资料 
　　１９１ 离子交换树脂塔（碳钢／不锈钢３１６／不锈钢３０４，内衬橡胶）及其相关配件 Ｉｏｎ Ｅｘｃｈａｎｇｅ Ｔｏｗｅｒ（ＣＳ Ｒｕｂｂｅｒ Ｌｉｎｉｎｇ／ＳＵＳ３１６／ＳＵＳ３０４） 整体系统引进，国内产品目前无验证资料 
　　１９２ 超过滤膜及其相关配件 Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１９３ 监控系统（不含微机和外设） ＳＣＡＤＡ Ｓｙｓｔｅｍ 国内无生产，整体系统引进 
　　１９４ 搅拌机 Ａｇｉｔａｔｏｒ 用于化学药品搅拌及废水处理槽搅拌，氟系废弃物处理，以加强处理效果，国内无生产（硬件），整体系统引进／国内产品目前无验证资料 
　　１９５ 搅拌机相关配件 Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　１９６ 自动溶解泡药装置 无 氧化铝加水成氢氧化铝后沉淀用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　１９７ 污泥饼机（压滤机） Ｆｉｌｔｅｒ Ｐｒｅｓｓ 用于氟系废弃物处理，氟化钙淤泥脱水使其污泥干燥度达处理水平，国内无生产，国内产品目前无验证资料 
　　１９８ 紫外线杀菌灯单元模块 ＴＯＣ ＵＶ Ｕｎｉｔ 国内无生产，整体系统引进 
　　１９９ 安定器 Ｂａｌｌａｓｔ 紫外线杀菌灯单元模块配套元件（硬件），国内无符合技术标准、型号产品 
　　２００ Ｏ型环 Ｏ Ｒｉｎｇ 密封圈，材料为橡胶、偏氯二氟乙烯聚二氟乙烯、丁氛橡胶等，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２０１ 臭氧产生器 Ｏ３ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ 国内无生产，整体系统引进 
　　２０２ 管路集散器 Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｏｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２０３ 减震模块 Ｖｉｒｂａｒａｔｉｏｎ 国内无生产，整体系统引进 
　　２０４ 桶槽呼吸单元模块 Ｂｒｅａｔｈｅｒ Ｕｎｉｔ 国内无生产，整体系统引进 
　　２０５ 液体，气体的测量或检验装置及其零配件 Ｆｌｏｗ Ｍｅｔｅｒ（ＳＵＳ３０４／ＳＵＳ３１６，Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ） 国内无生产，整体系统引进 
　　２０６ 气体侦测模块 Ｇａｓ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ 国内无生产，整体系统引进 
　　２０７ 呼吸器快速接头 ＢＡ Ｑｕｉｃｋ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２０８ 空气室 Ａｉｒ Ｃｈａｍｂｅｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２０９ 离子交换树脂再生塔不锈钢３１６／３０４，碳钢橡胶内衬 Ｉｏｎ Ｅｘｃｈａｎｇｅ Ｔｏｗｅｒ（ＣＳ Ｒｕｂｂｅｒ Ｌｉｎｉｎｇ／ＳＵＳ３１６ＳＵＳ３０４） 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２１０ 人机界面（用于监控系统现场设备）软件 Ｍａｎ Ｍａｃｈｉｎｅ－ｉｎｔｅｒｆａｃｅ 监控系统现场设备的连接装置，是一种组态软件，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２１１ 压缩空气系统干燥机 ＣＤＡ Ｄｒｙｅｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２１２ 真空传感器 Ｖａｃｕｕｍ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２３９ 超级过滤膜及外壳（高洁净高强度工程塑料、超洁净不锈钢） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２４０ 超级过滤器及外壳（高洁净度、高强度工程塑料） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２４１ 不锈钢管及连接件、抗压力指数大于等于４公斤的钢管、膨胀节 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２４２ 化学品过滤系统用零配件 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２４３ 机械轴封（配件） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２４４ 随身携带呼吸器件（ＳＣＢＡ空压机）备用气瓶 Ｂａｃｋ－Ｕｐ Ｇａｓ Ｃｙｌｉｎｄｅｒ ｏｆ ＳＣＢＡ 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气 
　　２４５ 化学品泄漏处理对象、器材及防护衣 Ｃｈｅｒｍｉｃａｌ Ｌｅａｋａｇｅ Ｓｐｅｃｔａｌ Ｍａｔｅｒｉａｌ 处理化学品泄漏时防护及处理器材 
　　２４６ 可燃／毒性物防爆箱 Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｔｅｍｐｏｒａｒｙ Ｓｔｏｒａｇｅ 储存腐蚀性及易燃液体 
　　２４７ 自动灭火喷淋系统（不含微机和外设） Ｓｐｒｉｎｋｌｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ 净化室消防灭火用，需ＦＭ认证 
　　２４８ 消防（火灾）防护防害器材及防护衣物 Ｆｉｒｅ Ｆｉｇｈｔｉｎｇ Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ Ｍａｔｅｅｒｉｃａｌ 消防灭火的防护衣服手套等 
　　２４９ 全套自供式呼吸器（含碳纤气瓶） Ｓｅｌｆ Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ Ｂｒｅａｔｈｉｎｇ Ａｐａｒａｕｓ（ＳＣＢＡ） 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气 
　　２５０ 磁簧感应器、红外线对照式侦测器、主机及控制器、路由器等 Ａｃｃｅｓｓ Ｓｙｓｔｅｍ 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入 
　　２５１ 磁力锁 Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｌｏｃｋ 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入 
　　２５２ 寻址式火警控制盘、相应模块 Ａｄｄｒｅｓｓａｂｌｅ Ｆｉｒｅ Ａｌａｒｍ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｐａｎｅｌ＆Ｍｏｄｕｌｅ 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２５３ 无尘室用二氧化碳灭火器 ＣＯ２，Ｆｉｒｅ Ｅｘｔｉｎｇｕｉｓｈｅｒ 消防灭火用国内无符合技术标准、型号产品 
　　２５４ 二氧化碳系统（含钢瓶，喷头，烟感器控制盘，不含微机和外设） ＣＯ２ Ｓｙｓｔｅｍ 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２５５ 防爆型摄像头、高分辨率摄像头 ＣＣＴＶ Ｓｙｓｔｅｍ 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件 
　　２５６ 防火／防烟风门 Ｆｉｒｅ Ｓｔｏｐ，Ｆｉｒｅ／Ｓｍｏｋｅ Ｄａｍｐｅｒ 消防系统用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２５７ 感应读卡机 Ｐｒｏｘｉｍｉｔｙ Ｃａｒｄ Ｒｅａｄｅｒ 在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入 
　　２５８ 高压气瓶泄漏处理设备储备器材 Ｃｏｕｐｒｅｓｓｅｄ Ｃｙｌｉｎｄｅｒ Ｌｅａｋａｇｅ Ｔｒｅａｔ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２５９ 画面处理单元 Ｄｒａｗｉｎｇ Ｈａｎｄｌｅ Ｕｎｉｔ 监视无尘室等运行状态，作画面处理（如分隔和警报），通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件 
　　２６０ 环境安全管理监视系统［含影像接收，处理，记录系统、监控器、光纤、光缆（不含微机和外设）］ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ Ｒｅｃｅｉｖｉｎｇ，Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ，（Ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ Ｖｉｄｅｏ Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ） 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２６１ 回路控制单元 Ｌｏｏｐ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ 监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件 
　　２６２ 回路控制器 Ｌｏｏｐｓ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２６３ 火警报警，（广播）系统（感应，灭火逃生警报单元，控制单元，不含微机和外设） Ｆｉｒｅ Ａｌａｒｍ，Ｐｕｂｌｉｃ Ａｄｄｒｅｓｓ Ｓｙｓｔｅｍ（Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ，Ａｌａｒｍ Ｕｎｉｔ） 火灾侦测报警用，需ＦＭ认证 
　　２６４ 火警矩阵主机（连动门禁、电梯、排烟及广播系统） Ｆｉｒｅ Ｓｙｓｔｅｍ Ｍａｔｒｉｘ Ｌｉｎｋ 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２６５ 极早期火警警报系统（不含微机和外设） Ｖｅｒｙ Ｅａｒｌｙ Ｓｍｏｋｅ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ 洁净车间火灾侦测报警用，需ＦＭ认证 
　　２６６ 紧急广播主控器、相应模块及附件 Ｅｍｅｒｇｅｎｃｙ Ｐ．Ａ．Ｍａｉｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ＆Ｍｏｄｕｌｅ 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２６７ 紧急洗眼及冲淋器具 无 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２６８ 警报 输入／输出（Ｉ／Ｏ）界面（用于门禁系统） Ａｌａｒｍ Ｉ／Ｏ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ 一种组态软件，在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人员出入 
　　２６９ 空气采样管（特种塑钢） Ａｉｒ Ｓａｍｐｌｉｎｇ Ｐｉｐｉｎｇ ＡＢＳ（丙烯腈－丁二烯－苯乙烯三元共聚物）塑钢本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 
　　２７０ 空气采样系统主机、相应模块及附件 Ａｉｒ Ｓａｍｐｌｉｎｇ Ｓｍｏｋｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ，Ｍａｉｎ Ｍａｃｈｉｎｅ 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 
　　２７１ 门禁管理系统（不含微机和外设） Ａｃｃｅｓｓ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ａｌａｒｍ Ｓｙｓｔｅｍ（Ａｃｃｅｓｓｏｒｙ）（Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ） 有专用通讯协议，可接多个接口模块，且可管理数万个持卡者，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７２ 泡沫灭火系统（含泡沫桶，控制盘，不含微机和外设） Ｆｏａｍ Ｅｘｔｉｎｇｕｉｓｈ Ｓｙｓｔｅｍ 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７３ 网络接口组件、图控压缩软件（用于火灾探测报警用／火警广播） Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｕｎｉｔ，Ｇｒａｐｈｉｃ Ｃｏｍｐｒｅｅｓ Ｓｏｆｔｅｗａｒｅ 火灾探测报警用／火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７４ 网络界面设备及附件 Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｕｎｉｔ 本身不产生尘粒和化学物质用干净化厂房中 
　　２７５ 视觉信号装置零备件 Ｓｙｓｔｅｍ Ａｃｃｅｓｓｏｒｉｅｓ 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７６ 消防组配件（洒水头，泡沫头，压扣开关，蜂鸣器，阀，扳手，防震支撑…） Ｆｉｒ Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ Ａｃｃｅｓｓｏｒｉｅｓ（Ｓｐｒｉｎｋｌｅｒ Ｈｅａｄ，Ｆｏａｍ Ｈｅａｄ，Ｅｍｅｒｇｅｎｃｙ Ｐｕｓｈ Ｂｏｔｔｏｎ，Ｓｐｅａｋｅｒ…） 消防系统，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７７ 信号收集单元 Ｓｉｇｎａｌ Ｃｏｌｌｅｃｔ Ｕｎｉｔ 一种监视器，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７８ 烟感及温感器 Ｓｍｏｋｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２７９ 安全保护器具 Ｓａｆｅｔｙ Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ 由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气，需ＦＭ认证 
　　２８０ 厂务监控系统（不含微机和外设） Ｆａｃｉｌｉｔｙ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ＆Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产 
　　２８１ 编程工具 Ｐｒｏｇｒａｍｍｉｎｇ Ｔｏｏｌｓ 用洁净室监控器作网络重新测试和故障确认，整合所有厂务系统进行监控，以确保洁净室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２８２ 监控器与监控盘体（含监视器） Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ ａｎｄ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｐａｎｅｌ 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２８３ 输入／输出 监控工作站（不含计算机） Ｉ／Ｏ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｗｏｒｋｓｔａｔｉｏｎ 中控室监控站，监控净化室温度、湿度、压力、流量及警报，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２８４ 网络设备（不含计算机） Ｎｅｗｏｒｋｉｎｇ Ｄｅｖｉｃｅ 工业级Ｅｔｃｈｍｅｔ Ｋｉｎｇｂｕｓ网络确保净化室监控网络的稳定，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２８５ 数据库应用工具 Ｄａｔａｂａｓｅ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｒ Ｔｏｏｌｓ 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品 
　　２８６ 专用测试系统（不含微机和外设） Ｓｐｅｃｉａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ ｆｏｒ Ｃｌｅａｎ Ｒｏｏｍ 国内无符合技术标准、型号产品 
　　２８７ 静电监测系统（不含微机和外设） 无 国内无符合技术标准、型号产品 
 
　　附件２： 
 
部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录 
 
　　序号 设备类型 英文名称（企业参考） 设备零、配件 零、配件税则号列 
　　１ 化学机械研磨设备 ＣＭＰ 研磨（二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨钨研磨）设备配件（化学机械研磨机） ８４７９９０９０／８４６６９３００ 
　　２ 无 Ｄｅｆｅｃｔ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ／Ｂａｃｋ Ｏｒｄｅｒ Ｆｏｒ ＲＴ ８８００ Ａｕｔｏｍａｃｔｉｃ Ｒｅｔｉｃｌｅ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ／Ｍａｓｌ Ｐａｒｔｉｃｌｅ＆Ｐｅｌｌｉｃｌｅ Ｄｅｆｅｃｔｉｏｒ Ｓｙｓｔｅｍ 缺陷测试设备配件（缺陷检测仪）／自动缺陷检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪（排气管接口）／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 ９０２９９０００／９０３１９０００ 
　　３ 无 Ｐａｒｔｉｃｌｅ Ｃｏｕｎｔｅｒ 颗粒计数仪配件／粒子计数器配件 ９０２９９０００／９０３０９０００ 
　　４ 无 Ｐｒｏｆｉｌｅｒ 剖面测量仪配件（高精度表面凸凹检测仪） ９０３０９０００ 
　　５ 无 无 表面轮廓仪配件 ９０３０９０００ 
　　６ 无 ｗａｆｅｒ ｓｏｒｔ 晶圆分类机设备配件 ８４７９９０９０ 
　　７ 扩散设备 ＲＴＡ 快速热退火炉－热退火设备配件（快速热处理器） ８５１４９０９０ 
　　８ 无 Ｓｈｅｅｔ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ 电阻量测仪配件／层电阻测定仪配件／比电阻测定仪配件 ９０３０９０００／９０３１９０００ 
　　９ 无 Ｓｕｒｆａｃｅ Ｃｈａｒｇｅ Ａｎａｌｙｚｅｒ 表面电荷分析仪配件 ９０２７９０００ 
　　１０ 无 ＶＦ ＬＰＣＶＤ 低压化学气相沉积炉管配件 ８４８５９０００／８４７９９０９０／８４７９９０９０ 
　　１１ 无 ＶＦ Ｐｏｌｙ Ｏｘｉｄｅ／Ａｎｎｅａｌ 常压垂直炉管（包括退火、干燥、合金化、膜生长垂直炉管）配件 ８５１４９０９０ 
　　１２ 无 Ｐａｒｔｓ ｆｏｒ Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ｆｕｒｎａｃｅ 氧化机配件 ８４１９９０９０ 
　　１３ 无 ＩＰＩ 高温燃烧废气处理设备配件 ８４１９９０９０ 
　　１４ 无 Ｖａｃｕｕｍ Ｐｕｍｐ 真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件 ８４１４９０９０ 
　　１５ 无 Ｔｕｂｅ Ｃｌｅａｎｅｒ 炉管清洗设备配件／炉管清洗机配件／炉芯管清洗机配件 ８４２１９９９０／８５１４９０９０ 
　　１６ 无 Ｄｒｙ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ 干式清洗设备配件（清洗机） ８４１９９０９０ 
　　１７ 无 Ｐａｒｔｓ Ｃｌｅａｎｅｒ ＨＦ 零件清洗机配件 ８４２４９０９０／８４２１９９９０／８５４３９０９０ 
　　１８ 无 无 静态老化炉配件 ８４１７９０９０ 
　　１９ 无 无 数字器件标准老化炉配件 ８５１４９０００ 
　　２０ 无 无 单晶硅外延炉配件 ８４１７９０９０ 
　　２１ 无 无 老化炉配件 ８５１４９０００ 
　　２２ 无 无 扩散炉配件 ８５１４９０９０ 
　　２３ 无 无 聚酰胺烘陪炉配件 ８５１４９０９０ 
　　２４ 无 无 氮气处理配件 ８５１４９０９０ 
　　２５ 无 无 椭圆仪配件 ９０３１９０００ 
　　２６ 无 无 扩散用工夹具清洗机／化学气相沉积用工夹具清洗／工夹具有机清洗装置配件 ８５１４９０９０／８４７９９０９０／８４６６９３００ 
　　２７ 无 无 温度控制器配件 ９０３２９０００ 
　　２８ 无 无 温度分布测定机配件 ９０３１９０００ 
　　２９ 化学气相沉积／薄膜设备 无 除害装置配件 ８４２１９９９０ 
　　３０ 无 无 四乙氧基硅烷（ＴＥＯＳ）供给系统配件 ３４７９９０９０ 
　　３１ 无 无 磷浓度测定仪配件 ９０２６９０００ 
　　３２ 无 无 尘埃检查仪配件 ９０３０９０００ 
　　３３ 无 无 粒子监视系统配件 ９０３０９０００ 
　　３４ 无 无 供气系统／气体供给系统配件 ８４７９９０９０ 
　　３５ 无 无 气体精制机（氮气）配件 ８４２１９９９０ 
　　３６ 无 无 涡轮分子泵／低温泵配件 ８４１３９１００ 
　　３７ 无 无 特性检查配件 ９０３１９０００ 
　　３８ 无 无 气体泄漏监视系统配件 ９０２６９０００ 
　　３９ 无 无 气体集中供给装置配件 ８４７９９０９０ 
　　４０ 无 无 ＣＩＦ３废气吸附装置配件 ８４２１９９９０ 
　　４１ 无 无 聚酰亚胺烘焙配件 ８４７９９０９０ 
　　４２ 薄膜设备 ＦＴＩＲ 傅力叶红外线检测仪配件（量测仪） ９０３１９０００ 
　　４３ 无 ＰＶＤ 物理气相沉积设备（仪）配件 ８４２１９９９０ 
　　４４ 无 ＣＶＤ 化学气相沉积设备（仪）配件／化学气相沉积设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化学气相沉积配件 ８４２１９９９０／８４７９９０９０ 
　　４５ 无 ＳＭＩＦ ＡＲＭ 标准机器界面设备配件（晶片上料机） ８４８５９０００ 
　　４６ 无 ＳＭＩＦ 小型无尘室配件 ８４２１９９９０ 
　　４７ 无 Ｐａｒｔｓ Ｃｌｅａｎｅｒ 工艺配件清洗设备（包括石英管、片架、片盒、晶盒掩模版等）配件（零件清洗机）（清洗机） ８４２４９０９０／８４２１９９９０ 
　　４８ 无 无 擦片机配件／化学机械抛光擦片机配件／浅沟道隔离化学机械研磨擦片机／双面擦片机配件 ８４７９９０９０／８４６６９１００ 
　　４９ 无 Ｗａｓｔｅ Ｇａｓ Ｔｒｅａｔｍｅｎｔ（Ｉｎ－Ｃｌｕｄｉｎｇ Ｌｏｃａｌ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ，Ｂｕｒｎ Ｔｕｂｅ，Ｃｏｏｌ Ｔｒａｐ…） 工艺废气处理设备配件（高温燃烧废气处理设备） ８５１４９０９０ 
　　５０ 无 Ｓｔｒｅｓｓ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ 应力测量仪配件／应力测定仪配件 ９０３０９０００／９０２６９０００ 
　　５１ 无 Ｓｐｕｔｔｅｒ 溅射设备配件 ８４７９９０９０ 
　　５２ 无 Ｖａｐｏｒ ＨＦ 气相清洁设备配件 ８４７９９０９０ 
　　５３ 无 ＸＲＦ Ｘ射线测量仪配件（Ｘ射线晶片分析仪） ９０３０９０００ 
　　５４ 无 Ｃｕ Ｐｌａｔｉｎｇ 铜电镀机配件 ８４７９９０９０ 
　　５５ 无 Ｗａｆｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ Ｐａｒｔｓ 晶盒运输设备配件 ８４８５９０００／８４７９９０９０ 
　　５６ 无 Ｗａｆｅｒ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ Ｐａｒｔｓ 晶片清洗设备（清洗机）（清洁机）（硅片清洗机）（清洗过滤机）配件 ８４２１９９９０ 
　　５７ 无 Ｌｉｑｕｉｄ Ｄｅｌｉｖｅｒｙ Ｓｙｓｔｅｍ Ｐａｒｔｓ 自动供液系统（输送机）配件 ８４８５９０００ 
　　５８ 无 Ｓｈｅｅｔ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ ａｎｄ Ｐａｒｔｓ 阻抗量测仪器及配件 ９０３０９０００ 
　　５９ 无 ＥＳＤ ＴＬＰ Ｓｙｓｔｅｍ 静电测试系统配件 ９０３０９０００ 
　　６０ 金属化 无 溅射台配件 ８４７９９０９０ 
　　６１ 无 无 段差测定仪配件 ９０３１９０００ 
　　６２ 无 无 表面反射率计配件 ９０３１９０００ 
　　６３ 无 无 真空烘箱／烘箱／ＨＴ烘箱配件 ８５１４９０９０／８５１４９０００ 
　　６４ 无 无 固化烘箱／塑封固化烘箱配件 ８４７７９０００ 
　　６５ 无 无 喷砂机配件 ８４２４９０９０ 
　　６６ 无 无 干燥机／版盒干燥机配件 ８５１４９０９０ 
　　６７ 无 无 萤光Ｘ线分析装置配件 ９０３１９０００ 
　　６８ 干法蚀刻 Ｃｏｒｎｅｒ Ｒｏｕｎｄｉｎｇ 倒角设备配件 ８４６６９３００ 
　　６９ 无 Ｍｅｔａｌ／Ｗ Ｅｔｃｈｂａｃｋ Ｅｔｃｈ 金属／钨回蚀设备配件 ８４６６９３００ 
　　７０ 无 Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ／Ｗａｆｅｒ Ｌｏａｄｅｒ 光学显微镜／硅片承载器配件 ９０１１９０００ 
　　７１ 无 Ｅｔｃｈ－Ｓｐａｃｅｒ 衬垫蚀刻设备配件 ８４６６９３００ 
　　７２ 无 Ｏｐｔｉｃｓｔａｔｉｏｎ 光学检测设备配件 ９０３１９０００ 
　　７３ 无 Ｅｔｃｈ 蚀刻设备配件（刻蚀机）／电浆蚀刻机配件／干式蚀刻机（铬膜和半透膜）配件／反应离子刻蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配件 ８４６６９３００／８４６６９３００ 
　　７４ 无 Ｐｌａｓｍａ Ｃｌｅａｎ 等离子体清洁设备配件 ８４７９９０９０ 
　　７５ 无 Ｒｅｓｉｓｔ Ｓｔｒｉｐ 去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件 ８４２１９９９０／８４７９９０９０／８４６６９３００／８４６６９３００ 
　　７６ 无 ＳＮ Ｄｅ－Ｐｏｌｙｍｅｒ 高分子聚合物去除设备配件 ８４７９９０９０ 
　　７７ 无 ＵＶ Ｃｕｒｉｎｇ－ＭＥＴ 紫外线固化（金属）设备配件 ８４７９９０９０ 
　　７８ 无 无 回刻机配件 ８４６６９３００ 
　　７９ 无 无 气体泄漏监视装置配件 ９０２６９０００ 
　　８０ 无 无 工夹具水洗装置配件 ８４６６９３００ 
　　８１ 无 无 工夹具干燥装置／化学气相沉积用工夹具干燥配件 ８５１４９０９０／８４７９９０９０ 
　　８２ 研磨设备 Ｂａｃｋｓｉｄｅ Ｇｒｉｎｄｅｒ／Ｐｏｌｉｓｈｅｒ 晶片背研磨机（研磨机）配件 ８４７９９０９９０／８４６６９３００ 
　　８３ 无 Ｂａｃｋｓｉｄｅ Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ 背面测厚仪配件 ９０２６９０００ 
　　８４ 无 Ｄｅｔａｐｅ 去膜机配件／卸膜机配件 ８４７９９０９０／８４６６９３００ 
　　８５ 无 Ｔａｐｅ 贴膜机配件 ８４７９９０９０／８４６６９３００ 
　　８６ 离子注入设备 Ｄｏｓｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ 剂量测量设备配件 ９０２８９０１０ 
　　８７ 无 Ｃｕｒｒｅｎｔ ＩＭＰ 离子注入设备配件（高速流、高能量） ８５４３９０１０ 
　　８８ 无 无 离子注入设备配件（中速流） ８５４３９０１０ 
　　８９ 无 无 喷砂机配件 ８５４３９０９０ 
　　９０ 光罩生产设备 ＡＩＭＳ Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ Ｓｙｓｔｅｍ 空间影像模拟系统配件 ９００８９０９０ 
　　９１ 无 Ａｕｔｏ Ｐｅｌｌｉｃｌｅ Ｍｏｕｎｔｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ 自动防尘保护膜系统配件 ８４７９９０９０ 
　　９２ 无 ＣＤ Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ Ｓｙｓｔｅｍ 微距量测系统配件 ９０１７９０００ 
　　９３ 无 Ｃｏａｔｅｒ＆Ｈｏｔ Ｐｌａｔｅ 镀膜机配件 ８４７９９０９０ 
　　９４ 无 ＦＩＢ Ｒｅｔｉｃｌｅ Ｒｅｐａｉｒ Ｓｙｓｔｅｍ 聚焦离子束光罩修补系统配件（光罩修补系统） ９０２７９０００ 
　　９５ 无 Ｆｉｌｍ Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｔｏｏｌ 薄膜厚度量测机（测量仪器）／膜厚测定仪／厚度仪配件 ９０３０９０００／９０３１９０００ 
　　９６ 无 Ｌａｓｅｒ Ｂｅａｍ Ｗｒｉｔｉｎｇ 扫描式（步进式、电子束、镭射束）曝光机配件 ９０１０９０９０ 
　　９７ 无 无 镭射束（电子束）曝光机配件（镭射刻读机）配件 ８４７９９０９０ 
　　９８ 无 Ｌａｓｅｒ Ｒｅｔｉｃｌｅ Ｒｅｐａｉｒ Ｓｙｓｔｅｍ 镭射光罩修补系统配件（光罩修补系统） ９０２７９０００ 
　　９９ 无 无 光罩修补系统配件 ９０２７９０００ 
　　１００ 无 Ｍ＆Ｍ Ｖｉｓｕａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｔｏｏｌ 自检机（包括焊线目检机、自动目检机、自动盘装目检机、自动管装目检机）配件 ９０３１９０００／８４７９９０９０ 
　　１０１ 无 Ｍａ ｕｎａｌ Ｐｅｌｌｉｃｌｅ Ｍｏｕｎｔｉｎｇ Ｔｏｏｌ 手动防尘保护膜系统配件 ８４７９９０９０ 
　　１０２ 无 Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ 光学化学制程机配件（光掩模制程机） ９０１０９０９０ 
　　１０３ 无 Ｏｖｅｒｌａｙ Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ Ｓｙｓｔｅｍ 标记误差量测系统配件（叠对标记差测量仪） ９０１７９０００ 
　　１０４ 无 Ｐｈａｓｃ Ａｎｇｌｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｔｏｏｌ 相位量测系统配件 ９０１７９０００ 
　　１０５ 无 Ｓｔａｒｌｉｇｈｔ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ 微尘检验系统配件（脏污检验系统） ９０３０９０００ 
　　１０６ 无 Ｒｅｔｉｃｌｅ Ｆｉｎｅ－ｃｌｅａｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ／Ｗｅｔ Ｂｅｎｃｈ 光罩清洗系统配件／湿式光罩清洗仪配件（水洗台）／去光阻清洗系统配件 ８４７９９０９０ 
　　１０７ 无 无 扫描电子测量仪配件 ９０３０９０００ 
　　１０８ 产品工程设备 ＭＯＳＡＩＤ ＥＦＡ Ｔｅｓｔｅｒ 测试机配件 ９０３０９０００ 
　　１０９ 无 ＵＶ Ｅｒａｓｅｒ 紫外线光源擦除机配件 ８５４３９０９０ 
　　１１０ 无 Ｃｙｃｌｉｎｇ Ｍａｃｈｉｎｅ 重复读写测试机配件 ９０３０９０００ 
　　１１１ 无 Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｐａ 精密半导体参数分析仪（参数分析仪）配件ｒａｍｅｔｅｒ Ａｎａｌｙｚｅｒ ９０２７９０００ 
　　１１２ 光刻设备 Ａｍｍｏｎｉａ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ 氨气检测器配件（多种气体分析仪） ９０２７９０００ 
　　１１３ 无 Ｈｏｔ Ｐｌａｔｅ 热板烘干机配件 ８４７９９０９０ 
　　１１４ 无 Ｉｎ－Ｌｉｎｅ ＤＵＶ Ｓｃａｎｎｅｒ 光刻机配件 ９０１０９０９０ 
　　１１５ 无 无 光刻机用控制器配件 ８４８５９０００ 
　　１１６ 无 Ｉｎ－Ｌｉｎｅ ＤＵＶ Ｔｒａｃｋ 在线式涂布显影机配件 ８４７９９０９０ 
　　１１７ 无 Ｍａｓｋ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ 显微镜（包括红外线电子显微镜、电子显微镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜、非接触测量显微镜）配件 ９０１２９０００／９０１１９０００ 
　　１１８ 无 无 光学显微镜配件／激光显微镜／金相显微镜／Ｘ射线显微镜／高倍显微镜／共聚焦显微镜／发射显微镜配件 ９０１１９０００ 
　　１１９ 无 无 立体显微镜配件 ９０１１９０００ 
　　１２０ 无 Ｏｖｅｒｌａｙ 套刻精度仪配件（量测仪）／套刻精度检测仪配件 ９０３０９０００／９０３１９０００ 
　　１２１ 无 Ｃｏａｔｅｒ 涂布机配件（涂防机）／涂敷机配件 ８４７９９０９０ 
　　１２２ 无 Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒ／ＰＲ Ｒｅｗｏｒｋｅｒ 显影机配件 ８４７９９０９０ 
　　１２３ 无 Ｒｅｗｏｒｋｅｒ Ｄｒｙｅｒ ｂｅｆｏｒｅ Ｃｕｒｅ 光刻 胶预处理设备配件 ８４７９９０９０ 
　　１２４ 无 无 紫外线光刻胶硬化机配件 ９０１０９０９０ 
　　１２５ 无 Ｒｅｔｉｃｌｅ Ｃｈａｒｇｅｒ／Ｍａｃｒｏ Ｃｈｅｃｋ Ｓｔａｔｉｏｎ 光罩检测仪配件（晶片盒开封机） ８４７９９０９０ 
　　１２６ 无 Ｓｔａｒｌｉｇｈｔ Ｍａｓｋ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ 光罩检测检查系统配件 ９０３１９０００ 
　　１２７ 无 无 版盒清洗机配件 ９０３３００００．９０ 
　　１２８ 无 无 硅片周边曝光装置配件 ９０３３００００．９０ 
　　１２９ 无 无 紫外固胶机配件 ９０３３００００．９０ 
　　１３０ 无 无 紫外线处理装置配件 ９０３３００００．９０ 
　　１３１ 无 无 罩清洗机配件 ９０３３００００．９０ 
　　１３２ 无 无 显影液供给系统配件 ９０３３００００．９０ 
　　１３３ 无 无 溶剂供给系统配件 ９０３３００００．９０ 
　　１３４ 无 无 氦气气瓶柜配件 ８４７９９０９０ 
　　１３５ 无 无 掩膜板检测仪配件 ９０３１９０００ 
　　１３６ 无 无 扫描电镜配件 ９０１１９０００ 
　　１３７ 无 无 聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件 ９０３３００００．９０ 
　　１３８ 无 无 测试工作台配件 ９０３１９０００ 
　　１３９ 无 无 硅片分类机／倒片机／超高压化学气相沉积倒片机配件 ８０４７９９０９０ 
　　１４０ 无 无 外观检查仪配件 ９０３１９０００ 
　　１４１ 无 无 背面外观仪配件 ９０３１９０００ 
　　１４２ 质量保证设备 ＳＩＭＳ 二次离子质谱仪配件（质谱仪）／电感偶合质谱仪配件 ９０２７９０００ 
　　１４３ 无 Ａｉｒ Ｓａｍｐｌｅｒ 空气取样器配件（极早期空气采样系统） ９０３２９０００ 
　　１４４ 无 ＧＣ／ＭＳ（Ｇａｓ Ｃｈｒｏｍｔｏ ｇｒａｐｈｙ） 气相色谱质谱联用分析仪配件 ９０２７９０００ 
　　１４５ 无 ＧＦＡＡＳ 石墨炉原子吸收光谱仪配件（原子吸收分光光谱仪） ９０２７９０００ 
　　１４６ 无 Ｉｏｎ Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ 离子色谱仪配件 ９０２７９０００ 
　　１４７ 无 ＫＦ Ｔｉｔｒａｔｏｒ 水分滴定仪配件（水分仪） ９０３１９０００ 
　　１４８ 无 Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ Ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｏｒ 微波浓缩装置配件 ９０３０９０００ 
　　１４９ 无 Ａｕｔｏ Ｔｉｔｒａｔｏｒ 自动电位滴定仪配件（自动滴定仪） ９０３１９０００ 
　　１５０ 无 Ｖｉｓｃｏｍｅｔｅｒ 粘度计配件（粘度测量仪） ９０３１９０００ 
　　１５１ 无 Ｈｏｔ Ｐｌａｔｅ 搅拌器配件 ８４７４９０００ 
　　１５２ 无 无 加热器配件 ８５１６９０９０ 
　　１５３ 可靠性保证设备 Ａｕｔｏ－Ｄｅｃａｐｓｕｌａｔｉｏｎ Ｍａｃｈｉｎｅ 自动开封机配件（晶片盒开封机） ８４７９９０９０ 
　　１５４ 无 ＦＩＢ 聚焦离子束设备配件 ８５４３９０３０ 
　　１５５ 无 Ｉｏｎ Ｍｉｌｌｉｎｇ 离子减薄机配件 ８４７９９０９０ 
　　１５６ 无 Ｍｉｃｒｏ Ｃｌｅａｖｉｎｇ 型片机配件 ８４７９９０９０ 
　　１５７ 无 Ｍｉｃｒｏｓｅｃｔｉｏｎ／Ｐｏｌｉｓｈｅｒ 抛光机配件（化学机械抛光设备） ８４８５９０００／８４６６９１００ 
　　１５８ 无 Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｓａｗ 精密切割仪／激光切割机配件（低速切割机） ８４８５９０００／８４６６９３００ 
　　１５９ 无 Ｒｅｆｌｏｗ 回流焊设备配件 ８４６８９０００ 
　　１６０ 无 Ｓａｍｐｌｅ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ－ＣＯ２ Ｓｙｓｔｅｍ 二氧化碳气泡机配件 ８４７９９０９０ 
　　１６１ 无 Ｓａｍｐｌｅ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ－Ｄｉｃｉｎｇ Ｓａｗ 划片机配件 ８４７９９０９０／８４７７９０００／８４６４９１００ 
　　１６２ 无 Ｓａｍｐｌｅ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ－Ｄｉｅ Ｂｏｎｄｅｒ 上片机配件（粒子上片机） ８４７９９０９０ 
　　１６３ 无 Ｓａｍｐｌｅ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ－Ｗａｆｅｒ Ｍｏｕｎｔｅｒ 粘片机配件 ８４７９９０９０ 
　　１６４ 无 Ｓａｍｐｌｅ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ－Ｗｉｒｅ Ｂｏｎｄｅｒ 焊线机配件 ８５１５９０００ 
　　１６５ 无 Ｘ－ｒａｙ Ｘ射线分析仪配件（Ｘ射线晶片分析仪） ９０３０９０００ 
　　１６６ 无 Ｆａｉｌｕｒｅ Ａｎａｌｖｓｉｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ 故障分析仪配件 ９０３０９０００ 
　　１６７ 无 Ｆａｉｌｕｒｅ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｓａｍｐｌｅ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ 失效分析样品制备系统配件 ９０３１９０００ 
　　１６８ 无 ＥＬ Ｇｒａｄｅ Ｃｌｅａｎ Ｐｌａｓｔｉｃ Ｂｏｔ ｔｈｅ（ＰＥ／ＰＰ／ＰＴＦＥ） 超洁净塑料瓶 ３９２６９０１０ 
　　１６９ 无 Ｓｔｅｒｉｌｉｚｅｄ Ｓａｍｐｌｉｎｇ Ｔｕｂｅ 无菌采样管 ３９１７２９００ 
　　１７０ 无 Ｖｏｌｕｍｅｔｒｉｃ Ｆｌａｓｋ（ＰＥ／ＰＰ／ＰＦＡ／ＰＭＰ） 超洁净塑料凉瓶 ３９２６９０１０ 
　　１７１ 无 Ｍｉｃｔｒｏｐｉｐｅｔｔｅ 微量移液管 ３９２６９０１０ 
　　１７２ 无 ＤＩＷ Ｓａｍｐｌｅ Ｂａｇ 无菌取样袋 ３９２３９０００ 
　　１７３ 无 Ｐｌａｓｔｉｃ Ｓｙｒｉｎｇｅ 无菌塑料针管 ３９１７３９００ 
　　１７４ 无 无 分析装置配件 ９０３１９０００ 
　　１７５ 无 无 去离子水系统配件 ８４２１９９９０ 
　　１７６ 无 无 中央控制系统配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　１７７ 无 无 蒸汽回流机配件 ８５４３９０９０ 
　　１７８ 无 无 红外线回流系统配件 ９０３１９０００ 
　　１７９ 无 无 塑模开封机配件 ８４６６９１００ 
　　１８０ 无 无 化学腐蚀装置配件 ８４６６９３００ 
　　１８１ 无 无 超声波清洗系统配件 ８４６６９３００ 
　　１８２ 无 无 超声波图机配件 ９０３１９０００ 
　　１８３ 无 无 热载流子分析仪配件 ９０３１９０００ 
　　１８４ 无 无 曲线跟踪仪配件 ９０３１９０００ 
　　１８５ 无 Ｐｏｄ／Ｃａｓｓｅｔｔｅ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ 晶盒检测仪配件 ９０３０９０００ 
　　１８６ 无 ＴＸＲＦ Ｘ射线荧光光谱仪配件 ９０２７９０００ 
　　１８７ 无 Ｗ．Ｓ．ＷａｆｅｒＳｃｒｕｂｂｅｒ－Ｎｏｒ Ｍｅｔａｌ 晶片去离子水喷射刷洗设备配件 ８４２４９０９０ 
　　１８８ 无 Ｗａｆｅｒ Ｍａｒｋｅｒ 激光晶圆刻片机配件（激光刻号机） ８４７９９０９０ 
　　１８９ 无 Ｗａｆｅｒ ＲＳ＆ＴＨＫ／Ｆｌａｔ 晶圆片厚度／平整度测量仪配件（表面凸凹检测仪） ９０３０９０００ 
　　１９０ 无 ＡＬＵ 石英舟自动装载设备配件（晶片盒开封机） ８４７９９０９０ 
　　１９１ 研发设备 Ｄｙｎａｍｉｃ Ｓｉｇｎａｌ Ａｎａｌｙｚｅｒ 动态信号分析仪配件（噪声计） ９０３０９０００ 
　　１９２ 无 无 超声波扫描仪配件 ９０３１９０００ 
　　１９３ 无 无 温湿度箱／压力锅配件 ８５４３９０９０ 
　　１９４ 无 无 高加速应力实验箱配件 ９０３０９０００ 
　　１９５ 无 无 逻辑分析仪配件 ９０２７９０００ 
　　１９６ 无 无 晶体管曲线仪配件 ８５４３９０９０ 
　　１９７ 无 无 静电模拟测试机配件 ９０３０９０００ 
　　１９８ 无 ＬＣＲ Ｍｅｔｅｒ 电感电阻电容测试仪配件 ９０３０９０００ 
　　１９９ 无 Ｐｕｌｓｅ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ 专用脉冲发生器配件 ８５４３９０２９ 
　　２００ 无 Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｐａｒａｍｅｔｅｒ Ａｎａｌｙｚｅｒｍａｎｕａｌ 半导体参数分析设备配件（参数分析仪） ９０２７９０００／８５４３９０９０ 
　　２０１ 无 Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ Ｔｅｓｔｅｒ 半导体参数测试设备（仪）配件 ９０３０９０００ 
　　２０２ 无 Ｓｗｉｔｃｈ Ｍａｔｒｉｘ 信号自动转接器配件 ８５１９１０９０ 
　　２０３ 无 ＲＦ Ｎｏｉｓｅ Ｆｉｇｕｒｅ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ 高频噪声系数分析仪配件 ９０３１９０００ 
　　２０４ 无 ＩＣＣＡＰ ＲＦ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ 高频测试系统配件 ９０３１９０００ 
　　２０５ 无 Ｃｕｒｖｅ Ｔｒａｃｅｒ 信号轨迹追踪器配件 ９０３１９０００ 
　　２０６ 无 ＥＳＤ ＴＬＰ Ｓｙｓｙｅｍ 静电放电测试系统配件 ９０３０９０００ 
　　２０７ 无 无 图像处理器配件 ８４７１９０００ 
　　２０８ 无 无 绘图机配件 ９０３３００００．９０ 
　　２０９ 无 无 热波测试仪配件 ９０２７９０９０ 
　　２１０ 无 无 高低温分析仪配件 ９０３１９０００ 
　　２１１ 无 无 微探针台配件 ９０３１９０００ 
　　２１２ 无 无 电子束探针／热探针仪／自动多探针配件 ９０３１９０００ 
　　２１３ 无 无 验证测试系统配件 ９０３１９０００ 
　　２１４ 测试设备 Ｌａｓｅｒ Ｒｅｐａｉｒ 激光修复仪配件 ９０３１９０００ 
　　２１５ 无 Ｌｏｇｉｃ Ｔｅｓｔｅｒ 元件电参数测试设备配件 ９０３１９０００ 
　　２１６ 无 Ｃａｒｄ Ｃｈｅｃｋ 探针卡检测仪配件（探针测试仪） ９０３０９０００ 
　　２１７ 无 Ｐｒｏｂｅｒ 探针台（手动、半自动、自动、微探针台）配件 ８４７９９０９０／９０３１９０００ 
　　２１８ 无 无 探针卡 无 
　　２１９ 无 Ｗａｆｅｒ Ｂａｋｅ Ｏｖｅｎ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 烤箱（包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉）配件 ８５１４９０９０／８４１９９０９０ 
　　２２０ 无 Ｌｏｇｉｃ Ｔｅｓｔｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 逻辑测试机配件 ９０３１９０００ 
　　２２１ 无 Ｍｅｍｏｒｙ Ｔｅｓｔｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 记忆体测试机配件 ９０３１９０００ 
　　２２２ 无 Ｗａｆｅｒ Ｌｏａｄｅｒ 晶圆装载机配件 ８４７９９０９０ 
　　２２３ 无 Ｔｅｓｔｅｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ＰＣ Ｔｏｏｌ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 测试设备电脑工具配件 ８４７１９０００ 
　　２２４ 无 Ｐｒｏｂｅ Ｃａｒｄ Ｍａｋｉｎｇ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 探针卡制作设备配件 ８４７９９０９０ 
　　２２５ 无 Ｕｌｔｒａ Ｓｏｎｉｃ Ｃｏｎｔａｉｎｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 超音波震荡器配件 ９０３１９０００ 
　　２２６ 无 Ｔｅｓｔｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍｅｔｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 测试仪计量设备配件 ９０３０９０００ 
　　２２７ 无 Ｍｏｔｈｅｒ－Ｐｌａｔｅ Ｆｉｔｔｉｎｇ ｆｏｒＴｅｓｔｅｒ 测试仪专用工夹具及配件 ９０３１９０００ 
　　２２８ 无 Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ Ｇｕａｒｄ Ａｇａｉｎｓｔ Ｅａｒｔｈｑｕａｋｅｓ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 显微镜防震工作台配件 ９０１１９０００ 
　　２２９ 无 Ｔｈｅｒｍｏｍｅｔｅｒ＆Ｈｕｍｉｄｏｍｅｔｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 温湿度测试仪配件 ９０２５９０００ 
　　２３０ 无 无 与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件 ８４８５９０００ 
　　２３１ 无 Ｌｏｇｉｃ Ａｎａｌｙｚｅ Ｆｉｔｔｉｎｇ 逻辑分析仪配件 ９０２７９０００ 
　　２３２ 无 Ｐｒｅｃｉｓｅ Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 精密示波器配件（示波器） ９０３０９０００ 
　　２３３ 无 Ｗａｆｅｒ Ｂｕｒｎ－ｉｎ Ｔｅｓｔｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 炙烧测试机配件 ８４７９９０９０ 
　　２３４ 无 Ｄｙｎａｍｉｃ Ｗａｆｅｒ Ｂｕｒｎ－ｉｎ Ｂａｋｅ Ｏｖｅｎ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 动态老化晶圆烤箱配件 ８４１９９０９０ 
　　２３５ 无 Ｍｉｘｅｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｔｅｓｔｅｒ Ｆｉｔｔｉｎｇｓ 混合型测试机配件 ９０３１９０００ 
　　２３６ 无 无 数字测试系统配件 ９０３１９０００ 
　　２３７ 无 无 混合信号测试系统配件 ９０３１９０００ 
　　２３８ 无 无 密封机配件 ８４７７９０００ 
　　２３９ 无 无 外观检查仪配件 ９０３１９０００ 
　　２４０ 无 无 切片机配件 ８４６６９１００ 
　　２４１ 无 无 粉尘收集器配件 ８４２１３９９０．９０ 
　　２４２ 无 无 尘埃测定器配件 ９０３１９０００ 
　　２４３ 无 无 热电子分析仪配件 ９０３１９０００ 
　　２４４ 湿法刻蚀设备 Ｗ．Ｓ．Ｃｌｅａｎｅｒ 湿法清洗设备配件 ８４７９９０９０ 
　　２４５ 无 无 晶片再生处理机配件 ８４５６９９９０．９０ 
　　２４６ 无 Ｗａｆｅｒ Ｔｒａｎｓｆｅｒ／Ｔｒａｎｓｆｅｒ，Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ，Ｗａｆｅｒ，Ａｕｔｏｍａｔｉｃ 晶片传送器配件（晶片传送机） ８４８５９０００ 
　　２４７ 无 无 超声清洗机／酸清洗机／超声清洗机／片金清洗干燥机／剥膜清洗机／自动腐蚀清洗机／片架清洗机配件 ８４６６９３００ 
　　２４８ 无 无 氧化膜腐蚀配件 ８４６６９３００ 
　　２４９ 无 无 氮化硅腐蚀配件 ８４６６９３００ 
　　２５０ 无 无 磷玻璃层去除设备配件 ８４６６９３００ 
　　２５１ 无 无 化学机械抛光清洗机配件 ８４６６９１００ 
　　２５２ 无 无 浆料供给装置配件 ８４６６９３００ 
　　２５３ 无 无 光刻胶剥离配件 ８４６６９３００ 
　　２５４ 无 无 减薄机配件 ８４６６９１００ 
　　２５５ 无 无 化学机械研磨用纯水加压装置配件 ８４６６９１００ 
　　２５６ 无 无 半球形玻璃（ＨＳＧ）前处理装置配件 ８４６６９３００ 
　　２５７ 无 无 寿命测试仪配件 ９０３１９０００ 
　　２５８ 无 无 片架检查仪配件 ９０３１９０００ 
　　２５９ 无 无 淀积物去除装置配件 ８４６６９１００ 
　　２６０ 无 无 栅氧化前处理配件 ８４６６９３００ 
　　２６１ 无 无 荧光Ｘ射线分析装置配件 ９０３１９０００ 
　　２６２ 无 无 化学机械研磨用残膜测定仪配件 ９０３１９０００ 
　　２６３ 无 无 前处理装置配件 ８４６６９３００ 
　　２６４ 搬送 无 工程间搬送设备配件 ８４８５９０００ 
　　２６５ 无 无 工程间有轨／无轨搬送设备配件 ８４８５９０００ 
　　２６６ 无 无 掩模版库配件 ９０３３００００．９０ 
　　２６７ 无 无 机器人配件 ８４７９９０９０ 
　　２６８ 无 无 精选机配件 ９０３１９０００ 
　　２６９ 封装 无 贴片机配件 ８４７７９０００ 
　　２７０ 后工序封装设备 无 等离子清洗机配件 ８４７９９０９０ 
　　２７１ 无 无 晶片粘贴机配件 ８４７９９０９０ 
　　２７２ 无 无 金线拉力检测机配件 ９０３０９０００ 
　　２７３ 无 无 自动生产线线体配件 ８４７９９０９０ 
　　２７４ 无 无 二氧化碳充气机配件 ８４７９９０９０ 
　　２７５ 无 无 印字机配件 ８４４３９０００ 
　　２７６ 无 无 切筋成型机配件 ８４６６９４００ 
　　２７７ 无 无 Ｘ光机配件 ９０２２９０９０ 
　　２７８ 无 无 植球机配件 ８４７７９０００ 
　　２７９ 无 无 清洗机配件 ８４７９９０９０ 
　　２８０ 无 无 推球测试机配件 ９０３０９０００ 
　　２８１ 无 无 内脚焊接配件 ８４６８９０００ 
　　２８２ 无 无 封胶机配件 ８４７７９０００ 
　　２８３ 无 无 抓料机配件 ８４７９９０９０ 
　　２８４ 无 无 电镀机配件 ８４７９９０９０ 
　　２８５ 后工序测试设备 无 自动分检机配件 ８４７９９０９０ 
　　２８６ 无 无 卷带包装机配件 ８４７９９０９０ 
　　２８７ 无 无 老化板测试机配件 ９０３０９０００ 
　　２８８ 无 无 自动上下料分检机配件 ８４７９９０９０ 
　　２８９ 无 无 紫外线擦除机配件 ８５４３９０９０ 
　　２９０ 无 无 电源及其配件 ８５０４９０２０ 
　　２９１ 实验分析核准设备 无 温湿度箱／压力锅配件 ８５４３９０９０ 
　　２９２ 无 无 高加速应力实验箱配件 ９０３０９０００ 
　　２９３ 无 无 回流焊机配件 ８４７９９０９０ 
　　２９４ 无 无 温度循环测试机配件 ９０３０９０００ 
　　２９５ 无 无 纯水加压机配件 ８４７７９０００ 
　　２９６ 无 无 装片机配件 ８４７７９０００ 
　　２９７ 无 无 健合机配件 ８４７７９０００ 
　　２９８ 无 无 健合检查仪配件 ９０３１９０００ 
　　２９９ 无 无 塑封压机／塑封机配件 ８４７７９０００ 
　　３００ 无 无 塑封模配件 ８４７７９０００ 
　　３０１ 无 无 切筋打弯机配件 ８４７７９０００ 
　　３０２ 无 无 存储器测试系统配件 ９０３１９０００ 
　　３０３ 无 无 分选机配件 ８４７７９０００ 
　　３０４ 无 无 管脚检查系统配件 ８４７７９０００ 
　　３０５ 无 无 插拔机配件 ８４７９９０９０ 
　　３０６ 无 无 老化测试板检查仪配件 ９０３１９０００ 
　　３０７ 无 无 托盘处理机配件 ８４７７９０００ 
　　３０８ 生产管理自动控制系统 无 主系统服务器配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３０９ 无 无 生产管理系统配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１０ 无 无 管理系统服务器配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１１ 无 无 自动装载系统配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１２ 无 无 生产控制系统Ｈ／Ｗ配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１３ 无 无 后道生产控制系统服务器配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１４ 无 无 抄送邮件服务器配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１５ 无 无 网络设备（ＦＡ，ＯＡ）配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１６ 无 无 网络测试系统配件 ８４７３３０９０．９０ 
　　３１７ 芯片出货检测设备 Ｗａｆｅｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｐａｃｋｉｎｇ Ｍａｃｈｉｎｅ 各类芯片专用真空包装机配件／真空包装机配件 ８４２２９０９０／８４７７９０００／８４７９９０９０ 
　　３１８ 无 ＯＭ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｐｒｉｎｔｅｒ 显微镜数码打印机配件 ８４８５９０００ 
　　３１９ 无 ＯＭ ３ＣＣＤ ＲＧＢ Ｃａｍｅｒａ （带三电荷耦合装置）显微镜数码相机配件 ９００６９１９９ 
　　３２０ 无 Ｂａｒ Ｃｏｄｅ Ｐｒｉｎｔｅｒ 工业用条形码打印机配件 ８４８５９０００ 
　　３２１ 无 ＶＬＳＩ Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｗａｆｅｒ 各类校准用标准晶片配件 ９０３１９０００ 
　　３２２ 无 ＴＲＨ Ｍｅｔｅｒ，Ａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ，Ｒｅｃｏｒｄｅｒ 各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器配件 ９０２６９０００ 
　　３２３ 无 Ｌｏｃｋｒｅｅｌ 塑料带轮配件 ３９２６９０９０ 
　　３２４ 无 Ｔｉｐ，Ｗａｎｄ，Ｖａｃｃｕｍ 硅片（晶片）吸附头 ３９２６９０１０ 
　　３２５ 无 Ｖａｃｃｕｍ Ｐｉｃｋ－Ｕｐ Ｐｅｎｃｉｌ Ｗｉｔｈ Ｈｅａｄ 真空吸笔及吸头 ４０１６１０１０ 
　　３２６ 无 Ｃａｂｉｌｉａｒｙ 瓷嘴配件 ６９１４９０００ 
　　３２７ 无 Ｄｉａｍｏｎｄ Ｃｕｔ－ｏｆｆ Ｗｈｅｅｌ 切割轮（金刚砂）配件 ６８０４２１００ 
　　３２８ 无 Ｄｉａｍｏｎｄ Ｂｌａｄｅ 切割刀配件 ８２０８９０００ 
　　３２９ 无 Ｒｅｉｅｃｔ Ｐｉｎ 顶起针配件 ７３１９９０００ 
　　３３０ 无 Ｍａｇａｚｉｎｅ／Ｆｒａｍｅ 弹匣／芯片承载环配件 ７３２６１９１０ 
　　３３１ 无 Ｔｗｅｅｚｅｒ，Ｗａｆｅｒ 晶片镊 ８２０３２０００／７３２６９０１０ 
　　３３２ 无 Ｐｒｉｎｔ Ｃａｒｔｒｉｄｇｅ 喷塑匣配件 ８４７１９０００ 
　　３３３ 无 ＨＰＣ Ｓａｍｐｌｅｒ Ｒｅｄ ２５／ＰＫ 去离子水细菌测量抽样仪配件 ９０３１８０９０ 
　　３３４ 电学计量校准检定设备 Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｕｌｔｉｍｅｔｅｒ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 数字多用表校准标准器配件 ９０３１９０００ 
　　３３５ 无 Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｏｓｃｉｌｌｏｓｃｏｐｅ Ｃａｌｉ ｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 示波器精密校准器配件 ９０３０９０００ 
　　３３６ 无 ＡＣ／ＤＣ Ｖｏｌｔａｇｅ ａｎｄ Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｃａｌｉｂｒａｇｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 交直流电压、电流标准装置配件 ９０３０９０００ 
　　３３７ 无 Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 电组标准检定装置配件 ８５３８９０００ 
　　３３８ 无 Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｃｈａｎｎｅｌ Ｐｏｗｅｒ Ｃａｌｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 多功能标准源装置配件 ８５０４９０９０ 
　　３３９ 无 Ｓｉｇｎａｌ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 信号发生器检定装置配件 ９０３１９０００ 
　　３４０ 力学计量校准检定设备 Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｇａｕｇｅ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 压力表检定装置配件 ９０２６９０００ 
　　３４１ 无 Ｌｉｑｕｉｄ／Ｇａｓ Ｆｌｏｗ Ｍｅｔｅｒ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 流量计标准装置配件 ９０２６９０００ 
　　３４２ 无 Ｖｅｌｏｃｉｔｙ Ｍｅｔｅｒ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 转速表检定装置配件 ９０２６９０００ 
　　３４３ 热工计量校准检定设备 Ｔｈｅｒｍｏｃｏｕｐｌｅ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 热电偶检定标准装置配件 ９０３２９０００ 
　　３４４ 无 Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 温度校准器配件 ９０３２９０００ 
　　３４５ 无 Ｈｅａｔｅｒ Ｆｕｒｎａｃｅ Ｃａｌｉｂｒａｔｏｒ Ｐａｒｔｓ 温度炉标准配件 ９０３２９０００ 
　　３４６ 无 Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ＆Ｓｐａｒｅ Ｐａｒｔｓ 控制装置配件 ８４８５９０００ 
　　３４７ 无 Ｕｌｔｒａ－Ｖｉｏｌｅｔ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ＆Ｓｐａｒｅ ｐａｒｔｓ 紫外线杀菌灯配件 ８５３９９０００ 
　　３４８ 纯水，排水与药品供给回收系统 无 化学品供应系统配件 无 
　　３４９ 无 无 化学品混合机配件 ８４７９９０９０ 
　　３５０ 电气系统 无 六氟化硫组合电器柜配件 ８５４８９０００ 
　　３５１ 无 无 １０ｋＶ真空断路器配件 ８５４８９０００ 
　　３５２ 无 无 电力数据采集监控系统配件 ８５４８９０００ 
　　３５３ 无 无 高电压绝缘开关柜／高电压真空开关柜／不间断电源用高电压开关柜／高电压开关拒配件 ８５３８９０００ 
　　３５４ 无 无 高电压主变压器／站用干式变压器／不间断电源用干式变压器／不间断电源用旁路变压器配件 ８５０３００９０／８５０４９０１９ 
　　３５５ 无 无 电力电容成套装置配件 ８５３８９０００ 
　　３５６ 无 无 综合保护装置配件 ８５３８９０００ 
　　３５７ 无 无 高电压电压监视系统配件 ８５３８９０００ 
　　３５８ 无 无 ＡＴＳ电源转换装置配件 ８５０４９０１９ 
　　３５９ 无 无 发电机并车装置配件 ８５０３００９０ 
　　３６０ 无 无 中央监控站设备配件 ８５３８９０００ 
　　３６１ 无 无 冷冻机组配件 ８４１８９９９９ 
　　３６２ 无 无 高效风车过滤单元配件 ８４２１９９９０ 
　　３６３ 无 无 高效率过滤器配件 ８４２１９９９０ 
　　３６４ 无 无 静电消除装置配件 ９０３２９０００ 
　　３６５ 无 无 温湿度监控系统配件 ８５３１９０９０ 
　　３６６ 无 无 真空扫除机配件 ８４２１９９９０ 
　　３６７ 气体系统 无 气体品质监控系统配件 ８５３１９０９０ 
　　３６８ 无 无 气瓶柜输送系统配件 ８４３１３９００ 
　　３６９ 无 无 气体纯化器系统配件／气体纯化装置配件 ８４２１９９９０ 
　　３７０ 无 无 气体溅楼漏侦测系统配件 ８５３１９０９０ 
　　３７１ 化学品过滤及供应系统 无 控制装置配件 ８４７３３０９０ 
　　３７２ 无 无 管道阀及其配件 ８４８１９０１０ 
　　３７３ 无 无 过滤器滤芯及其配件 ８４２１９９９０ 
　　３７４ 无 无 化学品储存桶槽及其配件 ３９２６９０１０ 
　　３７５ 无 无 化学品成分及浓度测量装置及其配件 ９０２８９０９０ 
　　３７６ 无 无 重量测量装置及其配件 ８４２３９０００