行政机关及其工作人员对其实施行政许可过程中的上述违法行为，承担的是行政法律责任。追究这一行政法律责任的机关有两个：一是上级行政机关。上级行政机关对下级行政机关的日常工作负有领导和监督责任，下级行政机关及其工作人员实施行政许可的活动当然也是其领导和监督的重要内容，一旦发现有违法行为，上级行政机关即有权予以处理。二是监察机关。监察机关是人民政府行使监察职能的机关，依法对行政机关、国家公务员和行政机关任命的其他人员实施监察。根据行政监察法的有关规定，监察机关有权依法检查行政机关及其工作人员遵守和执行法律、法规和人民政府的决定和命令中的问题，并有权根据检查、调查结果，作出监察决定或者对行政机关提出监察建议。据此，对行政机关及其工作人员是否严格依法实施行政许可，就是监察机关行使监察权的重要内容。如果发现行政机关及其工作人员有上述违法情形之一的，监察机关即可予以处理。

　　上级行政机关或者监察机关对行政机关及其工作人员实施行政许可中的上述违法行为，依法处理的方式是责令改正；情节严重的，对直接负责的主管人员和其他直接责任人员依法给予行政处分。责令改正是指责令有违法行为的行政机关及其工作人员改正其违法行为。行政处分是对违反行政纪律的人员给予的处分。根据国家公务员暂行条例第三十三条的规定，行政处分分为警告、记过、记大过、降级、撤职、开除六种。对行政机关及其工作人员在实施行政许可过程中的上述违法行为，情节严重的，监察机关或者上级行政机关可以对直接负责的主管人员和其他直接责任人员依法根据不同情况作出警告、记过、记大过、降级、撤职、开除等不同处分。